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CVD、PVD、ALD衬底加热盘


 

 

1.材料：铝（350℃）、不锈钢（600℃）、INCONEL 600（1000℃）；

2.功率：1kW-10kW；

3.温度均匀性：＜±1%；

4.尺寸：6寸、8寸、12寸；